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处理步骤从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。然后高压通过反渗透膜。一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程电阻率可达到18兆。相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。

根据不同的用途，离子水又可制成强酸、强碱性离子水和弱酸、弱碱性离子水。强碱性离子水主要用于洗剂，采用强电解技术生产销售不用洗衣粉的洗衣机；强酸性离子水是经济的消毒产品，“非典”期间已经纳入“消毒卫生规范”；制取离子水的设备称为电解水生成器，俗称离子水机，也有电解水机、整水器、多功能制水机、活水机等别称。从离子水的制取强度上看，离子水机可分为强酸、强碱型和弱酸、弱碱型离子水机，集制取强酸、强碱、弱酸、弱碱离子水为一体的离子水机也有，但制造成本很高。

去离子水，应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。去离子水主要用途：实验室、化验室用水，一般实验室的常规试验、配置常备溶液、清洗玻璃器皿等。去离子水中简单地说就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。去离子水中的离子数可以被人为的控制，物理、化学及病理等指标均得到良好的控制。纯水就是去掉了水中的全部电解质与非电解质，也可以说是去掉了水中的全部非水物质。